Elipsometr monochromatyczny
2014-09-22 13:52:36
Elipsometr monochromatyczny EL X-02C
- Laser He-Ne, długość fali 632.8nm
- Precyzja silnika skokowego 0.002°
- Regulacja kąta padania: 30°-90° skok 5°
- Algorytm Minsearch
- Dokładność do 0.002nm przy grubościach rzędu 10nm
